光學(xué)膜厚儀是一種非接觸式測量儀器，一般會運(yùn)用在生產(chǎn)廠商大量生產(chǎn)產(chǎn)品的過程，由于誤差經(jīng)常會導(dǎo)致產(chǎn)品全部報(bào)廢，這時(shí)候就需要運(yùn)用光學(xué)膜厚儀來介入到生產(chǎn)環(huán)境，避免這種情況的發(fā)生。

　　

　　典型應(yīng)用領(lǐng)域：

　　半導(dǎo)體制造業(yè)，光刻膠、氧化物、硅或其他半導(dǎo)體膜層的厚度測量；

　　生物醫(yī)學(xué)原件：聚合物/聚對二甲苯；生物膜/球囊壁厚度；植入藥物涂層；

　　微電子：光刻膠；硅膜；氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡；

　　液晶顯示器：盒厚；聚酰亞胺；導(dǎo)電透明膜。

 

　　儀器的使用優(yōu)點(diǎn)：

　　1、測量數(shù)據(jù)多樣：可以測得物體的膜厚度和n，k數(shù)據(jù)，這是其它類型的膜厚儀所不具備的特點(diǎn)；

　　2、測量快速：光學(xué)膜厚儀的測量過程非?？焖?，因?yàn)樵撛O(shè)備采用了先進(jìn)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能夠極大程度的提升測量效率，相比于其他類型膜厚測量設(shè)備來說顯得非常輕巧方便；

　　3、非接觸式測量：光學(xué)膜厚儀采用的原理是通過光的反射原理對膜層厚度進(jìn)行測量，屬于非接觸式測量方法，不會對樣品造成任何損傷，能夠保證樣品的完整性；

　　4、適用范圍廣：光學(xué)膜厚儀的適用范圍非常廣泛，從普通家用到工廠的工業(yè)生產(chǎn)，再到大學(xué)實(shí)驗(yàn)室和科學(xué)研究所，都可以看到它的身影，由此可見它的使用范圍極其廣泛，能夠作業(yè)的場合也變得更加多樣化。

 

　　光學(xué)膜厚儀的使用注意事項(xiàng)：

　　1、零點(diǎn)校準(zhǔn)：在每次使用膜厚儀之前需要進(jìn)行光學(xué)校準(zhǔn)，因?yàn)橹暗臏y量參數(shù)會影響該次對物體的測量，零點(diǎn)校準(zhǔn)可以消除前次測量有參數(shù)的影響，能夠降低測量的結(jié)果的誤差，使測量結(jié)果更加精確。

　　2、基體厚度不宜過?。涸谑褂霉鈱W(xué)膜厚儀對物體進(jìn)行測量時(shí)基體不宜過薄，否則會極大程度的影響儀器的測量精度，造成數(shù)據(jù)結(jié)果不準(zhǔn)確，影響測量過程的正常進(jìn)行。

　　3、物體表面粗糙程度：對于被測物體的表面不宜太過粗糙，因?yàn)榇植诘谋砻嫒菀滓鸸獾难苌?，降低了光學(xué)膜厚儀的測量精度，造成很大的誤差。所以被測物體的表面應(yīng)該盡量保持光滑，以保證測量結(jié)果的精確性。